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  • 銷售熱線:18874256050(羊先生)/15084710648(梁女士)

    400-677-0098
    碳化硅外延生長爐
    碳化硅外延生長爐
    產品描述:
    碳化硅外延生長爐主要用于石墨盤或碳化盤的碳化硅外延生長制備
    應用范圍:
    石墨盤、碳化盤

    碳化硅外延生長爐技術特征

    采用先進的控制技術,能精密控制MTS/MS的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩定,壓力波動??;

    多通道工藝氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

    多級高效尾氣處理系統,能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物,環境友好;

    適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar/MTS/MS。

    碳化硅外延生長爐產品規格

    參數\型號HCVD-101015-SiCHCVD-152023-SiCVCVD-0608-SiCVCVD-0612-SiCVCVD-0812-SiCVCVD-1120-SiCVCVD-1218-SiCVCVD-1520-SiC
    工作區尺寸 W×H×L(mm)1000×1000×15001500×2000×2300600×800600×1200800×12001100×20001200×18001500×2000
    最高溫度(℃)15001500150015001500150015001500
    溫度均勻性(℃)±10/±15±15/±20±5/±7.5±7.5/±10±7.5/±10±10/±15±10/±15±15/±20
    極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
    壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.670.67
    加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻

    以上參數可根據工藝要求進行調整,不作為驗收依據,具體以技術方案和協議為準。

    碳化硅外延生長爐配置選擇

    結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

    爐門鎖緊方式:手動/自動

    爐殼材質:內層不銹鋼/全不銹鋼

    保溫材質:碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈

    加熱器、馬弗材質:石墨/CFC

    熱電偶:C/S分度號

    真空泵:機械泵組/耐腐蝕泵組

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    半導體材料熱工裝備

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